真空泵油作用，润滑：相对运动件间的润滑，降低磨损。密封：防止大气进入排气阀，有相对运动零件间的间隙密封（转子与定子、旋片与转子槽等）。冷却：油在泵内与油箱间循环，散热、冷却。携裹：将磨损产生的尘粒或其它颗粒挟裹在油中，减小磨损伤害。保护：形成保护性油膜，避免水及化学蒸汽凝结物腐蚀泵内部件。极低的蒸汽压这是真空泵油的zui重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
合适的粘度良好的粘温特性真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的热氧化安定性。
较高的闪点要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。良好的抗腐蚀性与抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。
真空泵油和一般机油有很大差别，所以使用真空泵油应该注意，要根据设备制造商用油规定，选用适当使用性能和粘度等级的真空泵油。为保证真空系统的正常工作，在使用及储运过程中要防止污染物如机械杂质及水的进入，以免影响真空油的使用寿命和系统的正常工作。残油往往含有大量的污染物和老化产物，严重地影响新油的使用质量和寿命，因此在换油时，油箱及油路要清洗干净。将新油从泵的吸气口倒入，并用手缓慢地转动泵轴，清扫泵腔并将残油排尽，须重复清洗剂几次。
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