真空泵油在使用过程中，因为氧化、乳化及外界混入各类杂质等原因，其间一部分油蜕变，当蜕变成分和杂质多到必定程度时，油的色彩发生变化，黏度和酸值升高了，分出不溶性的树脂状物质.致使真空泵油的蒸气压增高，功能恶化。此刻泵油不能持续使用了，有必要替换新的泵油。
为防止泵油中的粉尘、颗拉物质随泵油一同进入泵腔，对某些工艺进程.在泵作业进程中应设有连续过滤设备。尘埃、杂质及被污染的油沉入主油箱底部后，通过回油管流入副油箱通过别离、沉积，乳化后的油、水、尘埃和杂质沉入副油箱底部由排放阀定时放出.而相对洁净的油则由设于副油箱中上部的过滤器过滤后经进油管进入分油腔后供应端盖和泵腔作业。
过滤器内的过滤芯在油通过期挡住了机械污染物.净化了泵油。过滤器上常常连上压力表以显现过滤器是否阻塞。当压力添加，油不能正常活动时。即为过滤器阻塞，应替换或清洗过滤芯。
旋片泵一般每周检查一下油量。换油的时刻距离依作业条件而定.一般因油光滑不良、油分化或污染物太多使泵极限压力上升时，就需要替换油了。
从排气阀排出的被抽介质和油通过别离式排气帽时，气体和一部分蒸汽由排气口排出，阀门与泵连动，即泵作业时.阀门发动.油路口翻开充气口封闭。泵中止时，阀门油路口封闭，一起充气口翻开，大气从进气口经进油管向泵腔充气而破坏泵腔内真空.使泵油无法进入泵腔。
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